Projet de recherche AP/19 (Action de recherche AP)
Le projet vise dans un premier temps à établir l'état des lieux de la nano métrologie en Belgique en pointant les techniques utilisées par nos entreprises, centres de recherche et universités dans ce domaine. Cela se fera par le biais de demande de renseignements auprès des entités qui auront été identifiées. De cette façon, nous pourrons avoir une vision de la demande en terme d’étalonnage instrumental. En parallèle nous établirons un état de l'art international dans le domaine, au travers d'une recherche bibliographique exhaustive (standards ISO et autres, revues scientifiques et documents disponibles auprès des organismes nationaux étrangers ou organisations internationales).
Au terme de cette première étape, un rapport sera présenté aux institutions fédérales concernées et une réunion avec ces dernières aura lieu qui permettra de sélectionner la ou les techniques les plus pertinentes pour répondre aux besoins exprimés par les utilisateurs belges. Nous veillerons à définir un cahier des charges cohérent avec ces besoins.
La seconde étape visera à étudier le concept d'un instrument de métrologie dimensionnelle 3D à l'échelle micro-nanométrique. Sur base du cahier des charges en terme d'étendue de mesure et de précision, nous tâcherons de concevoir le principe d'un outil de métrologie. Ce dernier peut être la combinaison d'une tête de mesure (éventuellement commerciale ou combinant des sous-ensembles commercialisés ou fabriqués à façon) connecté à une machine ultra-précise de positionnement de la tête de mesure.
Le résultat sera un design conceptuel avec relevé des performances des sous-ensembles, tolérances dimensionnelles et mécaniques. Des plans de l'ensemble et des sous-ensembles seront délivrés.
La troisième étape, en parallèle à la précédente visera à définir un ou des étalons pour ce type d'instrument ou, le cas échéant, de proposer un ou des étalons déjà développé(s) et utilisé(s) dans les laboratoires de référence étrangers.
Le résultat sera un rapport avec les caractéristiques détaillées du ou des étalons, avec le cas échéant les coordonnées de fournisseurs éventuels.
Science metrology for micro and nanotechnologies, Part 1/2 : final report
Brussels : Federal Science Policy, 2007 (SP1823)
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