Onderzoeksproject AP/19 (Onderzoeksactie AP)
Het project wil in eerste instantie een stand van zaken opmaken van de nanometrologie in België door de technieken die op dit gebied worden gebruikt door onze bedrijven, onderzoekscentra en universiteiten in kaart te brengen. Dit zal gebeuren via vragen om inlichtingen bij de entiteiten die worden geïdentificeerd. Zo kunnen we een zicht krijgen op de vraag inzake ijking van instrumenten. Tegelijkertijd zullen we een stand van zaken opmaken van de internationale kunst op dit gebied, via een uitgebreid bibliografisch onderzoek (ISO-normen en andere, wetenschappelijke tijdschriften en documenten die beschikbaar zijn bij nationale en buitenlandse instellingen of bij internationale organisaties).
Na deze eerste stap wordt er een verslag overgemaakt aan de betrokken federale instellingen en vindt er een vergadering met deze laatste plaats die het mogelijk moet maken de techniek(en) te selecteren die het best beantwoordt (beantwoorden) aan de behoeften die de Belgische gebruikers hebben uitgedrukt. Wij zorgen voor een bestek dat coherent is met deze behoeften.
De tweede stap is erop gericht het ontwerp te bestuderen van een 3D-metrologie-instrument op micro-nanometerschaal. Op basis van het bestek in termen van meetomvang en precisie zullen we trachten het principe van een metrologiegereedschap te ontwerpen. Dit laatste kan de combinatie zijn van een meetkop (eventueel een model dat verkrijgbaar is in de handel of dat een combinatie is van courant verkrijgbare of op maat gemaakte onderdelen) die verbonden is met een uiterst nauwkeurige machine voor positionering van de meetkop.
Het resultaat is een conceptueel design met vermelding van de prestaties van de onderdelen, afmetings- en mechanische afwijkingen. Er worden plannen van de gehelen en van de onderdelen geleverd.
In de derde stap, die gelijkloopt met de vorige, willen we een of meerdere ijkmaten voor dit type instrument bepalen of, in voorkomend geval, een of meerdere ijkma(a)t(en) voorstellen die reeds ontwikkeld en gebruikt wordt (worden) in referentielaboratoria in het buitenland.
Het resultaat is een verslag met de gedetailleerde kenmerken van de ijkmaat of ijkmaten, met, indien van toepassing, de gegevens van de eventuele leveranciers.
Science metrology for micro and nanotechnologies, Part 1/2 : final report
Brussels : Federal Science Policy, 2007 (SP1823)
[Om te downloaden]