Source DB | nl |
---|
Institution | KU Leuven |
---|
Code | 716b1c6d-e7c2-43d9-994d-b2d9aeccdd24 |
---|
Unit | 4c3d49cc-8736-470b-8b73-df3dfe650617
|
---|
Begin | 10/1/2018 |
---|
End | 9/30/2020 |
---|
title fr |
|
---|
title nl | Topografische getrouwheid bij optische oppervlakte-metrologie
|
---|
title en | Topographic fidelity in optical surface metrology
|
---|
Description fr |
|
---|
Description nl | In dit project zal onderzoek naar de topografische betrouwbaarheid bij optische oppervlaktemeting worden uitgevoerd. Hiervoor zullen verschillende bekende en ook nieuwe technieken worden onderzocht en zullen methoden om de topografische betrouwbaarheid te verbeteren worden onderzocht en toegepast. Dit zal worden uitgevoerd op reeds aanwezige instrumenten, maar er kunnen ook nieuwe instrumenten worden ontworpen, of er kunnen uitbreidingen aan bestaande instrumenten worden ontworpen. De fysisch-mathematische modellering van het meetproces is essentieel in dit onderzoek, evenals het verwerken van grote hoeveelheden meetgegevens en het toepassen van geavanceerde algorithmes.
|
---|
Description en | In this project research into the topographic fidelity in optical surface measurement will be carried out. For this, several known and probably new techniques will be investigated and methods to improve the topographic fidelity will be researched and applied. This will be carried out on instrumentation already present, but also new instruments may be designed, or add-ons to already present instrumentation may be designed. The physical-mathematical modeling of the measurement process is essential in this research, as well as the processing of large quantities of measurement data and the application of advanced algorithms,
|
---|
Qualifiers | - metrology - |
---|
Personal | Haitjema Han |
---|
Collaborations | |
---|