| Source DB | nl |
|---|
| Institution | UGent |
|---|
| Code | 76a23b16-ac19-45e3-9677-dc33a63fd71f |
|---|
| Unit | 3b9b4691-0fd0-4fbc-aa3d-3f88e560336b
|
|---|
| Begin | 12/1/2019 |
|---|
| End | 9/30/2024 |
|---|
| title fr |
|
|---|
| title nl | TIMERS : een gerichte studie op kortstondige effecten tijdens reactief sputteren.
|
|---|
| title en | TIMERS : a Targeted Investigation of Momentary Effects during Reactive Sputtering
|
|---|
| Description fr |
|
|---|
| Description nl | Reactief magnetron sputteren is een veel gebruikte depositietechniek met een interessante, maar onbegrepen dynamica. De belangrijkste doelstelling van het project is om deze dynamica te modelleren om zo een meer uitgebreide versie van het Reactief Sputter Deposition (RSD) model te bekomen waarmee de meest gecompliceerde processen van dit proces beschreven kunnen worden.
|
|---|
| Description en | Reactive magnetron sputtering is a commonly used deposition technique which shows an interesting, but not fully understood time dependency. The main goal of the project is to model the dynamics of the time dependent processes to result in an improved version of the reactive sputter deposition (RSD) model capable to tackle the most complicated processes.
|
|---|
| Qualifiers | - Sputteren - Sputtering - dunne lagen - magnetron - modelleren - modelling - thin films - |
|---|
| Personal | Depla Diederik |
|---|
| Collaborations | |
|---|
